声光频移基于Bragg衍射,为保证激光经多个声波波前反射后实现多光束相干,必需保证:dλ>>Λ2,式中d为声光介质厚度,λ为输入激光波长,Λ为声波波长。从式中可见,由于存在声光介质厚度d,声波频率不可能过低,也即由声光频移产生的双频激光的频差不可能过低,一般在几十MHz到几百MHz,这样对系统的硬件速度又提出了更高的要求。采用声光移频技术,可以使激光干涉议的光学系统**简化,如2束光的频差取决于电路中的晶体振荡器,可以直接在电路中得到,与外差式激光干涉议相比,可以省去一套参考信号的接受光路。此外,江苏透射波前激光干涉仪参考价,由于这样的系统不存在激光干涉仪的定臂,难以用一个激光头来实现角度和直线度测量。平面平晶、窗口玻璃,江苏透射波前激光干涉仪参考价,江苏透射波前激光干涉仪参考价、光学平面、金属平面、陶瓷平面等光滑表面面形的高精度快速测量。江苏透射波前激光干涉仪参考价
激光器发出的光束,经扩束准直后由分光镜分为两路,并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时,干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号,经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数,再由电子计算机按计算式:式中λ为激光波长(N为电脉冲总数),算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时,要求周围大气处于稳定状态,各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。苏州光学材质均匀性激光干涉仪技术参数激光干涉仪测试项目:光学系统透射波前。
人们通常能看见光,是因为光的漫反射;激光是单色光,人们在空气中能够看见激光,也是因为它与空气中的微粒作用产生漫反射的原因。激光与普通光不一样,是单色光,是某物质的电子能量跃迁产生的,所以它的振动频率很单一,波动方向也恒定,是干涉光波。什么是激光的干涉现象?用一个干涉实验来说明。经过两个小孔得到两个同样性质的光,于是它们在传播过程中叠加了,有的地方振动始终加强,某些地方的震动始终减弱,而且振动强度有着稳定的空间分布。在固定位置接收到的光强按一定规律作强弱交替变化,形成激光的干涉条纹。
温度和空气折射率补偿单元干涉仪测量的目标位移可能长达百米,空气折射率(及改变)和长度的乘积成为激光干涉仪的**主要误差来源之一。用传感器测出温度、气压、湿度,信号处理单元计算出空气折射率引入的假位移,并从结果中扣除。
信号处理单元光电探测器1和2,分别把信号和的光束转化为电信号,±Δf是可动反射镜位移时因多普勒效应产生的附加频率,正负号表示位移的方向。电信号经放大器、整形器后进入减法器相减,输出成为*含有±Δf的电脉冲信号。经可逆计数器计数后,由电子计算机进行当量换算即可得出可动反射镜的位移量。环境温度,气压,湿度引入的折射率变化(假位移)送入计算机计算,并扣除他们的影响。相当多的应用要求计算机和应用系统通讯,实现对加工过程的闭环控制。 应用领域:大平板显示(平面检测)。
当可动反射镜移动时,含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2±Δf的光束,Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应产生的附加频率,正负号表示移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的,即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)。这路光束和由固定反射镜反射回来*含有f1的光的光束经偏振片2后会合成为f1-(f2±Δf)的测量光束。测量光束和上述参考光束经各自的光电转换元件、放大器、整形器后进入减法器相减,输出成为*含有±Δf的电脉冲信号。经可逆计数器计数后,由电子计算机进行当量换算(乘1/2激光波长)后即可得出可动反射镜的位移量。双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的,这种位移信息载于f1和f2的频差上,对由光强变化引起的直流电平变化不敏感,所以抗干扰能力强。激光干涉仪测试项目:平行度。江苏平面平晶检测激光干涉仪价位
激光干涉仪测试项目:平面度。江苏透射波前激光干涉仪参考价
激光干涉仪激光束路径与被测轴之间存在的任何未准直都会造成测得的距离和实际的运动距离之间有差异,此误差被称为余弦误差。
死程误差是在线性测量过程中与环境因素改变有关的误差,在正常状况下,死程误差并不大,而且只会发生在定标后以及测量过程中的环境改变。环境补偿单元能准确采集空气温度、压力、相对湿度信息,基于Edlen公式计算空气折射率,以此对激光波长进行补偿。同时环境补偿单元中材料温度探头能实时高精度测量被测设备温度,对其进行温度补偿。但是往往因为操作人员将材料温度探头放置在错误的位置,致使采集的数据不能真实反映被测物体温度状态,从而增大测量误差。 江苏透射波前激光干涉仪参考价
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